核心优势:低温处理,便捷高效
大口径石英反应腔(Φ215mm)
采用高纯度石英材质,耐温性强(可承受 300℃以上)且透光率≥90%,便于实时观察等离子体处理状态;
大口径设计适配多种样品形态(如不规则器件、多孔材料、批量小部件),单次可处理直径≤200mm 或高度≤300mm 的样品,满足多样化装载需求。
低温等离子技术,温和处理
等离子体处理温度≤60℃(视气体类型而定),避免高温对样品基材的损伤,尤其适合生物组织(如细胞切片)、聚合物(如塑料薄膜)、电子元件(如芯片)等热敏材料;
通过氧气、氩气等工艺气体电离产生高能活性粒子,实现物理溅射(去除表面污染物)与化学氧化(分解有机成分)双重作用,处理后表面洁净度达纳米级。
小型一体化结构,空间友好
紧凑式机身(宽度≤500mm)集成等离子发生器、反应腔与控制系统,无需外接复杂管路或电源,可直接放置于实验台或通风柜,节省 50% 以上空间;
PR510 型标配7 英寸触摸屏,可视化操作界面支持参数设定(处理时间、气体流量、功率)与状态监控,实时显示等离子体强度、腔体内压力等数据,操作步骤简化至 3 步以内(放样→设定→启动)。
工作原理与处理功能
通过高频电源电离工艺气体(如氧气、氩气)产生低温等离子体,利用等离子体中的离子、自由基等活性粒子与样品表面发生作用:
表面清洗:去除油脂、光刻胶、指纹残留等有机污染物,清洁精度达 0.1μm 级;
表面活化:引入羟基(-OH)、羧基(-COOH)等极性基团,提升表面能(如 PE 材料表面能从 30mN/m 提升至 50mN/m),增强后续涂层或胶粘剂的附着力;
样品灰化:完全分解生物样本(如动植物组织)、高分子材料(如塑料颗粒)中的有机成分,保留无机残留物用于元素分析(如 XRF、ICP 检测前处理)。
适用场景
材料科学:金属表面除油去污(如铝合金阳极氧化前处理);陶瓷 / 玻璃表面亲水处理,促进薄膜沉积(如 ITO 导电膜制备)。
生物医学:组织样本灰化(如病理切片有机成分去除,保留矿物质);医用导管表面改性,减少蛋白质吸附与细菌黏附。
电子半导体:芯片封装前焊盘清洁,提升金线键合可靠性;PCB 板表面助焊剂残留去除,改善焊接质量。
环境检测:土壤 / 沉积物样品前处理,分解有机质以准确测定重金属含量;微塑料样品表面污染物去除,便于后续成分分析。
操作与维护
用户体验:
PR510 型触摸屏支持参数预设(存储 3 组常用处理程序),一键调用无需重复设定;
透明石英腔搭配内置 LED 照明,处理过程清晰可见,适合教学演示或工艺优化。
便捷维护:
反应腔可快速拆卸,支持无水酒精擦拭清洁,石英材质抗化学腐蚀,适合处理酸性 / 碱性气体;
耗材更换简单(如密封圈、气体滤芯),维护周期≥6 个月(视使用频率而定)。
PR 系列等离子灰化机 —— 以经典桶型结构与低温等离子技术为核心,提供大口径处理空间与便捷操作体验,适用于热敏材料的表面改质与灰化处理,助力科研与生产中的精准样品预处理,兼顾性能稳定与使用便利。