| 参数名称 | 参数内容 |
| 光学系统 | 无限远色差校正系统 |
| 观察筒 | 30° 倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50–76mm，分光比 100:0 或 0:100（支持 25/26.5mm 视场） 30° 倾斜，倒像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50–76mm，三档分光比 0:100；20:80；100:0（支持 25/26.5mm 视场） 5–35° 倾角可调，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50–76mm，单边视度调节：±5 屈光度，两档分光比 100:0 或 0:100（支持 22/23/16mm 视场） |
| 目镜 | 高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm，可带测微尺，可选视度可调 高眼点大视野平场目镜 PL10X/23mm，视度可调 高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带刻度十字分划板 高眼点大视野平场目镜 PL10X/26.5mm，视度可调，可带刻度十字分划板 高眼点大视野平场目镜 PL15X/16mm |
| 物镜 | 长工作距平场明暗场消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X、100X） 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X、100X） 超长工作距明暗场半复消色差金相物镜（20X） |
| 转换器 | 内定位五孔明暗场转换器，带 DIC 插槽 |
| 调焦机构 |
反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。 粗调行程 33mm，微调精度 0.001mm。 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。 内置 100 - 240V 宽电压系统，带光亮度设定暗扭与复位按钮 |
| 载物台 |
6 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节； 平台面积 445mm×240mm，反射照明移动范围：158mm×158mm； 透射照明移动范围：100×100mm； 带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动； 玻璃载物台板（透、反射用） |
| 照明系统 |
12V100W 卤素灯，明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调； 带明暗场照明切换装置； 带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
| 摄影摄像 | 0.35X/0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦 |
| 其他 |
起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360° 旋转式检偏镜插板； 反射用干涉滤色片组； 高精度测微尺； DIC 微分干涉组件 |
人体工程学，为用户提供最高的工作效率
无限远铰链三通观察头
所成像的方位与物体实际方位一致，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于使用者观察与操作。
长工作距金相物镜
采用半复消色差技术，其使用的多层宽带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰锐利，色彩自然，明亮舒适。长工作距设计，50X物镜的有效工作距离 7.9mm100X 物镜的有效工作距离也达到了 2.1mm，更有 20X超长工作距金相物镜大幅拓展了 MX 机型的应用领域。同步设计了全套明暗场两用物镜，暗场照明亮度比传统暗场物镜提高 2 倍以上。
大行程移动平台设计
不仅适用于相应尺寸的晶圆及 FPD 检测，而且可用于小尺寸样品的阵列检测。6英寸三层机械移动平台，反射照明移动范围158mmx158mm，透射照明移动范围100mmx100mm;带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动。
模块化部件，可自由组合，西配置更灵活
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，极大的提高的系统的抗振能力与成像的稳定性。前置低手位粗微同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可以适应不同地区的电网电压。底座内部设有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
高性能物镜转换器
采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据 MX系列机型配置及功能的不同，可以选择不同型号的转换器。
不同的照明器可供选择
明暗场反射照明器:带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调;带明暗场照明切换装置。
透射照明:透射光源为单颗大功率 5W 暖色 LED，并带有N.A.0.5聚光镜。透射照明与反射照明可独立控制，即透反照明可同时开启，亦可单独开启。
丰富的观察方式，满足您的检测需求
明场观察(反射)
配以全新设计的无限远长工作距平场消色差金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦明亮的高画质显微图像。
明场观察(透射 )
5W 大功率 LED，配以 N.A.0.5 聚光镜，可以透照明下，观察 LCD 彩色液晶显示屏，器件框架边缘等。透射照明与反射照明为独立控制，即可同时亮，也可单独亮。
暗场观察
将暗场照明拉杆拉到指定位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷。内置衰减片，减少明暗场切换时光线剧烈变换对眼睛的刺激。
简易偏光观察
将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置，即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和 360°旋转式两种。
DIC 微分干涉观察
使用 DIC 技术,可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度可匹配带 DIC 功能的物镜，使整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色,高倍物镜 DIC效果也较好。
